CXF-200/1402
● 节能：无摩擦，避免摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
● 高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
● 灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求
关键词： CXF-200/1402
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CXF-200/1402
产品特点
● 节能：无摩擦，避免摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
● 高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
● 灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求
技术指标
| 进气口法兰 | DN200 ISO F(标配)DN200 CF(可选)DN200 LF(可定制) | 排气口法兰 | KF40 |
| 抽速速率(L/s) | N2:1280 Ar:1100 He:880 H2:560 | 压缩比 | N2:>1E8 Ar:>1E8 He:> 1E4 H2:>1E3 |
| 极限压强(Pa) | 1E-7(橡胶密封) 1E-8(金属密封) | 最大瞬时入口流量(sccm) | 1100 |
| 保护气入口法兰(选配) | KF10 | 推荐保护气体流量 | 20 |
| 最大允许磁场强度 | 径向:3 轴向:15 | 额定转速(rpm) | 30000 |
| 启动时间(min) | ≤6 | 停机时间(min) | ≤8 |
| 冷却方式 | 水冷 | 冷却水流量(L/min) | 2 |
| 推荐冷却水温度(℃) | 20±5 | 电源电压(VAC) | 220±10%,50Hz 110±10%, 60Hz |
| 适配电源型号 | CXFD-1001 | 建议前级泵 | ≥16 |
应用领域
科学研究
加速器
碳化硅
晶体晶振
光伏
Low-E玻璃镀膜
ITO镀膜
光学镀膜
装饰镀膜
平板显示
真空炉
电真空
新能源
新材料
真空干燥
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