DCFB-4200抗冲击涡轮分子泵
● 泵体烘烤温度(℃):<80
● 环境温度(℃):5-40
● 安装方向:垂直±5°
● 泵重量(kg):≈100
关键词: DCFB-4200抗冲击涡轮分子泵
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DCFB-4200抗冲击涡轮分子泵
型号 | DCFB-4200 | |
进气口法兰 | 400 ISO-K | |
排气口法兰 | 100 ISO-K | |
抽气速率(L/S)(对空气) | 4200 | |
压缩比 | N2 | >10-8 |
H2 | >6X102 | |
极限压强(Pa) | <2x10-6 | |
额定转速(rpm) | 15600 | |
使用轴承 | 进口陶瓷轴承 | |
振动值(μm) | ≤0.15 | |
启动时间(min) | <10 | |
停机时间(min) | <20 | |
建议采用的前级泵(L/S) | 30-70 | |
冷却方式 | 水冷 | |
冷却水温度(℃) | ≤20 | |
冷却水流量(L/min) | 1 | |
泵体烘烤温度(℃) | <80 | |
环境温度(℃) | 5-40 | |
安装方向 | 垂直±5° | |
泵重量(kg) | ≈100 |
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