DCFB-3600、4000抗冲击涡轮分子泵
● 泵体烘烤温度(℃)：<80
● 环境温度(℃)：5-40
● 安装方向：垂直±5°
● 泵重量(kg)：≈100
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DCFB-3600、4000抗冲击涡轮分子泵
| 型号 | DCFB-3600 | ||
| 进气口法兰 | 400 ISO-K | ||
| 排气口法兰 | 100 ISO-K | ||
| 抽气速率(L/S)(对空气) | 3600 | 4000 | |
| 压缩比 | N | >10-8 | |
| H2 | >6x102 | ||
| 极限压强(Pa) | <2x10-6 | ||
| 额定转速(rpm) | 13500 | 15000 | |
| 使用轴承 | 进口陶瓷轴承 | ||
| 振动值(μm) | ≤0.15 | ||
| 启动时间(min) | <10 | ||
| 停机时间(min) | <20 | ||
| 建议采用的前级泵(L/S) | 30-70 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | ||
| 冷却水温度(℃) | ≤20 | ||
| 冷却水流量(L/min) | 2 | ||
| 泵体烘烤温度(℃) | <80 | ||
| 环境温度(℃) | 5-40 | ||
| 安装方向 | 垂直±5° | ||
| 泵重量(kg) | ≈100 | ||
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